Messmethodik: Das Probenmaterial wird mittels Röntgenstrahlung zur Eigenstrahlung angeregt. Da jedes in der Probe vorhandene Element seine charakteristische Fluoreszenzstrahlung abgibt, eignet sich das Verfahren zur qualitativen Analyse. Im Allgemeinen besteht ein linear proportionales Verhältnis zwischen Intensität der emittierten Röntgenstrahlung und der Elementkonzentration in der Probe, so dass bei entsprechender Kalibrierung auch eine quantitative Elementanalyse möglich ist. Bei diesem energiedispersiven Gerät wird die Strahlung im Halbleiterdetektor nach ihrer Energie aufgespalten.